硅材料硅產品清洗超純水設備

　　設備參數：
　　名稱：硅材料硅產品清洗超純水設備
　　型號：zl-gcp001
　　進水口徑：40（mm）
　　產水量：3T/H
　　工作壓力：290（psi）
　　功率：5.5（w）
　　電導率：0.055us/cm
　　脫鹽率：99.9%（%）
　　概述：
　　微(wei)量(liang)污(wu)(wu)染也會(hui)(hui)(hui)導致(zhi)器件(jian)失效。清洗(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)目的(de)(de)(de)(de)(de)在于清除(chu)表面污(wu)(wu)染雜(za)質，包括(kuo)有(you)(you)機物和(he)無機物。這些雜(za)質有(you)(you)的(de)(de)(de)(de)(de)以(yi)(yi)原子狀態或(huo)(huo)離(li)子狀態，有(you)(you)的(de)(de)(de)(de)(de)以(yi)(yi)薄膜形式(shi)或(huo)(huo)顆(ke)粒形式(shi)存在于硅(gui)(gui)(gui)片(pian)(pian)表面。有(you)(you)機污(wu)(wu)染包括(kuo)光刻膠、有(you)(you)機溶劑殘留(liu)物、合成蠟(la)和(he)人接觸器件(jian)、工具、器皿帶來的(de)(de)(de)(de)(de)油(you)脂或(huo)(huo)纖(xian)維。無機污(wu)(wu)染包括(kuo)重金(jin)(jin)屬(shu)金(jin)(jin)、銅(tong)、鐵、鉻等(deng)，嚴(yan)重影響少數載流子壽(shou)命和(he)表面電導；堿(jian)金(jin)(jin)屬(shu)如鈉等(deng)，引起嚴(yan)重漏電；顆(ke)粒污(wu)(wu)染包括(kuo)硅(gui)(gui)(gui)渣、塵埃、細(xi)菌、微(wei)生物、有(you)(you)機膠體(ti)纖(xian)維等(deng)，會(hui)(hui)(hui)導致(zhi)各種缺陷。所以(yi)(yi)單晶硅(gui)(gui)(gui)/多晶硅(gui)(gui)(gui)/硅(gui)(gui)(gui)材料/太(tai)陽能電池硅(gui)(gui)(gui)片(pian)(pian)、半(ban)導體(ti)器件(jian)生產中(zhong)(zhong)必須用(yong)(yong)超(chao)純水(shui)(shui)，目前制(zhi)取(qu)超(chao)純水(shui)(shui)工藝可分(fen)為(wei)反滲(shen)透+混床超(chao)純水(shui)(shui)設(she)(she)(she)備，二是反滲(shen)透+EDI超(chao)純水(shui)(shui)設(she)(she)(she)備，這是兩種制(zhi)取(qu)超(chao)純水(shui)(shui)設(she)(she)(she)備常用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)(de)工藝。超(chao)純水(shui)(shui)主要用(yong)(yong)于清洗(xi)硅(gui)(gui)(gui)片(pian)(pian)，另有(you)(you)少量(liang)用(yong)(yong)于藥液配制(zhi)，硅(gui)(gui)(gui)片(pian)(pian)氧化(hua)的(de)(de)(de)(de)(de)水(shui)(shui)汽源，部分(fen)設(she)(she)(she)備的(de)(de)(de)(de)(de)冷(leng)卻(que)水(shui)(shui)，配制(zhi)電鍍液等(deng)。水(shui)(shui)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)堿(jian)金(jin)(jin)屬(shu)（K、Na等(deng)）會(hui)(hui)(hui)使絕緣膜耐壓不良，重金(jin)(jin)屬(shu)（Au、Ag、Cu等(deng)）會(hui)(hui)(hui)使PN結(jie)耐壓降(jiang)低，III族(zu)元素（B、Al、Ga等(deng)）會(hui)(hui)(hui)使N型(xing)(xing)半(ban)導體(ti)特(te)性(xing)(xing)(xing)惡(e)化(hua)，V族(zu)素（P、As、Sb等(deng)）會(hui)(hui)(hui)使P型(xing)(xing)半(ban)導體(ti)特(te)性(xing)(xing)(xing)惡(e)化(hua)，水(shui)(shui)中(zhong)(zhong)細(xi)菌高(gao)溫碳化(hua)后的(de)(de)(de)(de)(de)磷（約(yue)占灰(hui)分(fen)的(de)(de)(de)(de)(de)20%~50%）會(hui)(hui)(hui)使P型(xing)(xing)硅(gui)(gui)(gui)片(pian)(pian)上的(de)(de)(de)(de)(de)局部區域變化(hua)為(wei)N型(xing)(xing)硅(gui)(gui)(gui)而導致(zhi)器件(jian)性(xing)(xing)(xing)能變壞。水(shui)(shui)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)顆(ke)粒（包括(kuo)細(xi)菌）如吸附在硅(gui)(gui)(gui)片(pian)(pian)表面，就會(hui)(hui)(hui)引起電路短(duan)路或(huo)(huo)特(te)性(xing)(xing)(xing)變差。